実験・評価用装置

製品開発に欠くことのできない実験・評価用装置を提供します。

  • R&D用塗布装置

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    R&D用塗布装置

    コンパクトなスリットコート法の実験・評価装置です。装置機能を追加し拡張していく事で評価から少量生産そして、量産機としても使用可能な装置です。

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  • R&D用露光装置

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    R&D用露光装置

    解像性を変更可能な露光装置など、R&D用に適したカスタム製品、特注製品を提供します。

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  • 硫酸銅めっき液添加剤測定装置(ECI Technology社製)

    QL-10EZ

    硫酸銅めっき液添加剤測定装置(ECI Technology社製)

    有機添加剤(促進剤、抑制剤、レベラー)を一括分析できます

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  • 酸化膜・金属膜厚測定装置(ECI Technology社製)

    QC-100

    酸化膜・金属膜厚測定装置(ECI Technology社製)

    ボンディグワイヤー測定専用機QC-200では、銅、銀ワイヤ-の検査管理が可能

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  • 3D加熱表面形状測定装置(akrometrix社製)

    AXP

    3D加熱表面形状測定装置(akrometrix社製)

    JEDEC、JEITA規格に準拠したシャドウモアレ原理でサンプルの表面形状を高速測定

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