コンセプト

露光工程のSeamless(シームレス)Solution(ソリューション)をご提供

塗布工程

スリットコ―タ―

スリットコ―タ―

スリットコ―タ―

金属表面処理剤

金属表面処理剤

SSPシリーズ

露光工程

投影露光装置

投影露光装置

MMS

投影露光装置

ASS-Mk1.3

投影露光装置

PEX

現象/
エッチング工程

ウエット処理装置

メーカー

ウエット処理装置

ウエット装置

洗浄剤シリーズ
ノンシリコン分散消泡剤

ノンシリコン分散消泡剤

自動乾燥炉

自動乾燥炉

めっき工程

銅膜厚測定機

銅膜厚測定機

キャビダームCD-8

後工程

ルータ機

ルータ機

ルータ機

ルータービット

ルータービット

ルータービット

レイアップ工程、合紙、ブラシ洗浄機

レイアップ工程、合紙、ブラシ洗浄機

検査

  • 3D加熱変形解析装置(シャドウモアレ原理)

    3D加熱変形解析装置(シャドウモアレ原理)

    サーモレイAXP

  • 酸化膜測定装置

    酸化膜測定装置

    SERA QC-100

  • X線多層板検査装置

    ソフテックス

    X線多層板検査装置

    SX-104

  • ホールチェッカー

    ホールチェッカー

    WT-0159D