生産機器

ケミカル処理装置(アンポックファーイースト社製)

ウエット処理装置

 

特徴

パターン形成工程全てに対応した装置
構築世界最大のケミカル処理装置
ユーザーニーズに合わせた装置設計(製造物対応、ファインパターン対応)
各種処理装置・高密度現像、エッチング・バキューム現像、エッチング・2流体エッチング

 

 

コンタクトフリー 縦型現像、剥離装置(アンポックファーイースト社製)

コンタクトフリー 縦型現像、剥離装置

 

特徴

薄物対応(厚さ 50μm以下の基板にも対応)
搬送痕がつかない完全コンタクトフリーを実現
ロボット搬送システムによる全自動生産