特長
高速レイアップ ： 1層あたり17～22秒
高精度アライメント ： 4×GigE 高解像度産業用カメラ使用
アライメント精度 ： ±15μm（XYステージ自動制御）
サイズ調整 ： 全自動（基板歪み自動計測）
摘要例
| 基板サイズ | Min 356.0mm × 356.0mm Max 660.4mm × 812.8mm |
| 溶着時積層高さ | 最大8mm |
| 溶着箇所 | 8か所 |
特長
高速レイアップ ： 1層あたり17～22秒
高精度アライメント ： 4×GigE 高解像度産業用カメラ使用
アライメント精度 ： ±15μm（XYステージ自動制御）
サイズ調整 ： 全自動（基板歪み自動計測）
摘要例
| 基板サイズ | Min 356.0mm × 356.0mm Max 660.4mm × 812.8mm |
| 溶着時積層高さ | 最大8mm |
| 溶着箇所 | 8か所 |