生産機器

UV-LED光源を標準で搭載した投影露光(プロジェクション)方式の露光装置です。

ASSシリーズ

あらゆる微細パターンに対応する投影露光装置

シリコン、サファイア、水晶、リチウムタンタレート等のあらゆるウエハ、セラミック、パッケージ等の基板に対して、サブμmから数μmの微細パターンを狙っているあらゆるフォトリソグラフィニーズに対応するために開発された応用露光機がASSシリーズです。高画角、高精細な投影レンズを、高精度アライメント可能なボディに搭載し、あらゆるウエハ、中サイズまでのパッケージ基板を、高効率で露光します。

ASSシリーズ

 

FPSシリーズ

フルサイズ基板に微細露光を可能にした投影露光装置

500X600mmクラスのフルサイズ基板に対応した、微細パターン露光が可能な投影露光装置です。L/S 2μmインターポーザー等、高精細・高精度・高生産性を要求される用途に適した露光装置です。

MMSシリーズ

生産性とローコストを両立させた投影露光装置

当社のステッパータイプ露光機は、プリント基板用の装置としてMMSから始まりました。MMSシリーズは、基板からウエハー、そしてフィルムに至るまで、様々なベースに最適なパターンを高効率で形成することができるローコストな投影方式露光装置です。

MMSシリーズ

 

PEXシリーズ

パネル生産に特化した投影露光装置

MMSシリーズの技術を用い、タッチパネル等、パネル生産に特化した投影方式露光装置です。

PEXシリーズ