光学コンポーネント製品

大型部品からレンズ単体まで特殊対応/アセンブリを提供します。

露光装置システム

光源から投影レンズまで特殊なご要望に対応します。

露光装置システム

露光装置システム

  • 専用照明系

    任意の形状/波長にて均一な照明領域を作ります。専用照明系
  • 投影レンズ

    特殊な波長/露光領域に合わせた設計レンズ単体も供給します。投影レンズ
  • 特注光源装置

    ランプ形式/パワーに個別対応。特注光源装置
  • 顕微鏡

    アライメント~観察用までアセンブリで供給します。顕微鏡
  • 特注光学系

    AF光学系などの特殊な光学系。特注光学系