光学コンポーネント製品

露光装置用超高圧水銀ランプ

 

照射エリアに応じて適切な機種をお選びいただけます。標準の照射光学系のラインアップも豊富に
準備されています。また、特殊な波長・照射エリアに対応したカスタム品も設計準備いたします。

 

<製品一覧>

光源装置型式 仕様 対応交換ランプ
MUA-165 DC165W照射装置 SHP-165
SHG-200 DC200W照射装置 HG-200MPS
BHG-750 DC800W照射装置 HG-1000MPKO