光学コンポーネント製品

アライナー(コンタクト・プロキ)、投影露光装置用 UV-LED光学系

UV-LED光学系

UV-LED光学系

 

カスタマイズ光学設計により、あらゆる露光機に対応

 

 

特徴

現行光源からリプレース可能
高照度(高生産性)
ローコスト
省力化
設備・環境負荷軽減

特徴

項目 UV-LED光学系 水銀ランプ
照度
ランニングコスト ×
メンテナンス ×
省スペース ×
環境性 ×
消費電力 ×
照度 ×