実験・評価用装置

R&D用露光装置

R&D用の特殊露光装置を提供します。
特注での装置製作についても、お気軽にご相談ください。

NA可変型投影露光装置

解像度、焦点深度を変更可能な投影露光装置

 

投影レンズの基本性能は,NA(開口数)によって決まります。NA可変投影レンズを搭載した露光装置を使用することで、リソグラフィを使用した次世代製品の開発を容易に行うことができます。

NA可変型投影露光装置

 

特殊露光装置

特殊ニーズにお応えする特殊露光装置

 

コリメーションアングル可変のプロキシミティ・コンタクトアライナー、ミラープロジェクションスキャナーシュミレータ等、光学設計能力を生かした特注露光装置を設計・製造します。

特殊露光装置