現像 剥離 エッチング
現像 剥離
エッチング
縦型装置で解決
搬送用リングホイールによる傷(搬送痕防止）
搬送用リングホイールによるレジストの倒れ込み防止
剥離後、DFRリングホイールへの張り付きによる基板への再付着の防止
特長
パターン形成工程全てに対応した装置
構築世界最大のケミカル処理装置
ユーザーニーズに合わせた装置設計（製造物対応、ファインパターン対応)
ファイン化対応
高密度現像、エッチング
高密度現像、エッチング
バキューム現像、エッチング
２流体エッチング
現像 剥離 エッチング