スリットコーター
スリット
コーター
サーマプレシジョンの塗布装置は、各種基板にフォトレジスト等の機能性材料を塗布するスリットコート法の装置です。現在、量産用塗布装置の他に、評価用塗布装置を加える事で開発・試作レベルから量産レベルまでサポートしています。


特長
評価用装置
■機能拡張が容易
■装置操作が容易
■装置保守が容易

量産用装置
■高いスループット
■高い塗布液使用効率
■高い面内膜厚均一性
仕様
仕様項目 | 仕様内容 | 仕様内容 | 仕様内容 |
装置用途 | 評価用及び少量生産用A | 評価用及び少量生産用B | 量産用 |
装置寸法 | 1,000mmW×1,500mmD | 1,500mmW×1,900mmD | 1,300mmW×2,000mmD |
基板種類 | 硝子基板、フィルム基板、セラミック基板、ガラエポ基板、金属箔 等 | 硝子基板、フィルム基板、セラミック基板、ガラエポ基板、金属箔 等 | 硝子基板、フィルム基板、セラミック基板、ガラエポ基板、金属箔 等 |
基板寸法 | 100~300mm□ | 300~500mm□ | 300mm□ |
素材種類 | 塗布型機能性素材(フォトレジスト材料、OC材料、BM材料、PI材料、UV材料 等) | 塗布型機能性素材(フォトレジスト材料、OC材料、BM材料、PI材料、UV材料 等) | 塗布型機能性素材(フォトレジスト材料、OC材料、BM材料、PI材料、UV材料 等) |
塗布 | 3~30mPa・s(標準)/ 3~20,000mPa・s(実績) 上記以外の液粘度に対しては、希望される液粘度と膜厚に対応した塗布ヘッド、液回路で提案します。 | 3~30mPa・s(標準)/ 3~20,000mPa・s(実績) 上記以外の液粘度に対しては、希望される液粘度と膜厚に対応した塗布ヘッド、液回路で提案します。 | 3~30mPa・s(標準)/ 3~20,000mPa・s(実績) 上記以外の液粘度に対しては、希望される液粘度と膜厚に対応した塗布ヘッド、液回路で提案します。 |
塗布方法 | テーブル走行型 スリットコート法 | テーブル走行型 スリットコート法 | ヘッド走行型 スリットコート法 |
装置標準構成 | 塗布ヘッド(固定型) | 塗布ヘッド(固定型) | 塗布ヘッド(走行型) |
装置標準構成 | 塗布ヘッド昇降部 | 塗布ヘッド昇降部 | ヘッド走行部 |
装置標準構成 | 吸着ステージ走行部 | 吸着ステージ走行部 | 塗布ヘッド昇降部 |
装置標準構成 | 液回路(塗布&洗浄液共用タンク) | 液回路(塗布&洗浄液共用タンク) | 吸着ステージ |
装置標準構成 | – | – | リフトピン機構(基板受取・受渡用) |
装置標準構成 | – | – | 液回路(サブタンク、メインタンク供給システム) |
装置標準構成 | – | – | 洗浄ユニット(カットバー、感想防止カバー付) |
装置標準構成 | – | – | 安全柵、エリアセンサー、FFU |
オプション | リフトビン機構(基板受取・受渡用)リフトビン機構(基板受取・受渡用) | リフトビン機構(基板受取・受渡用)リフトビン機構(基板受取・受渡用) | – |
オプション | 液回路(サブタンク、メインタンク供給システ液回路(サブタンク、メインタンク供給システム)ム) | 液回路(サブタンク、メインタンク供給システ液回路(サブタンク、メインタンク供給システム)ム) | – |
オプション | 洗浄ユニット(カットバー、感想防止カバー付) | 洗浄ユニット(カットバー、感想防止カバー付) | – |
オプション | 安全柵、エリアセンサー、FFU | 安全柵、エリアセンサー、FFU | – |
オプション | ヘッド走行型 スリットコート法 | 安全柵、エリアセンサー、FFU | – |
オプション | – | – | 基板LD&ULD |
オプション | 超鋼型塗布ヘッド | 超鋼型塗布ヘッド | 超鋼型塗布ヘッド |
オプション | 吐出用ポンプ | 吐出用ポンプ | 吐出用ポンプ |
オプション | 大型基板対応 | 大型基板対応 | 大型基板対応 |