スリットコーター
スリット
コーター
サーマプレシジョンの塗布装置は、各種基板にフォトレジスト等の機能性材料を塗布するスリットコート法の装置です。現在、量産用塗布装置の他に、評価用塗布装置を加える事で開発・試作レベルから量産レベルまでサポートしています。
特長
評価用装置
■機能拡張が容易
■装置操作が容易
■装置保守が容易
量産用装置
■高いスループット
■高い塗布液使用効率
■高い面内膜厚均一性
仕様
| 仕様項目 | 仕様内容 | 仕様内容 | 仕様内容 |
| 装置用途 | 評価用及び少量生産用A | 評価用及び少量生産用B | 量産用 |
| 装置寸法 | 1,000mmW×1,500mmD | 1,500mmW×1,900mmD | 1,300mmW×2,000mmD |
| 基板種類 | 硝子基板、フィルム基板、セラミック基板、ガラエポ基板、金属箔 等 | 硝子基板、フィルム基板、セラミック基板、ガラエポ基板、金属箔 等 | 硝子基板、フィルム基板、セラミック基板、ガラエポ基板、金属箔 等 |
| 基板寸法 | 100～300mm□ | 300~500mm□ | 300mm□ |
| 素材種類 | 塗布型機能性素材（フォトレジスト材料、OC材料、BM材料、PI材料、UV材料 等） | 塗布型機能性素材（フォトレジスト材料、OC材料、BM材料、PI材料、UV材料 等） | 塗布型機能性素材（フォトレジスト材料、OC材料、BM材料、PI材料、UV材料 等） |
| 塗布 | 3～30mPa・s（標準）/ 3～20,000mPa・s（実績） 上記以外の液粘度に対しては、希望される液粘度と膜厚に対応した塗布ヘッド、液回路で提案します。 | 3～30mPa・s（標準）/ 3～20,000mPa・s（実績） 上記以外の液粘度に対しては、希望される液粘度と膜厚に対応した塗布ヘッド、液回路で提案します。 | 3～30mPa・s（標準）/ 3～20,000mPa・s（実績） 上記以外の液粘度に対しては、希望される液粘度と膜厚に対応した塗布ヘッド、液回路で提案します。 |
| 塗布方法 | テーブル走行型 スリットコート法 | テーブル走行型 スリットコート法 | ヘッド走行型 スリットコート法 |
| 装置標準構成 | 塗布ヘッド（固定型） | 塗布ヘッド（固定型） | 塗布ヘッド（走行型） |
| 装置標準構成 | 塗布ヘッド昇降部 | 塗布ヘッド昇降部 | ヘッド走行部 |
| 装置標準構成 | 吸着ステージ走行部 | 吸着ステージ走行部 | 塗布ヘッド昇降部 |
| 装置標準構成 | 液回路（塗布＆洗浄液共用タンク） | 液回路（塗布＆洗浄液共用タンク） | 吸着ステージ |
| 装置標準構成 | – | – | リフトピン機構（基板受取・受渡用） |
| 装置標準構成 | – | – | 液回路（サブタンク、メインタンク供給システム） |
| 装置標準構成 | – | – | 洗浄ユニット（カットバー、感想防止カバー付） |
| 装置標準構成 | – | – | 安全柵、エリアセンサー、FFU |
| オプション | リフトビン機構（基板受取・受渡用）リフトビン機構（基板受取・受渡用） | リフトビン機構（基板受取・受渡用）リフトビン機構（基板受取・受渡用） | – |
| オプション | 液回路（サブタンク、メインタンク供給システ液回路（サブタンク、メインタンク供給システム）ム） | 液回路（サブタンク、メインタンク供給システ液回路（サブタンク、メインタンク供給システム）ム） | – |
| オプション | 洗浄ユニット（カットバー、感想防止カバー付） | 洗浄ユニット（カットバー、感想防止カバー付） | – |
| オプション | 安全柵、エリアセンサー、FFU | 安全柵、エリアセンサー、FFU | – |
| オプション | ヘッド走行型 スリットコート法 | 安全柵、エリアセンサー、FFU | – |
| オプション | – | – | 基板LD＆ULD |
| オプション | 超鋼型塗布ヘッド | 超鋼型塗布ヘッド | 超鋼型塗布ヘッド |
| オプション | 吐出用ポンプ | 吐出用ポンプ | 吐出用ポンプ |
| オプション | 大型基板対応 | 大型基板対応 | 大型基板対応 |