シリコン加工排水からの

シリコンスラッジ回収

対象研磨
■トップテール・ブロックカット・角切断・C/R面・円筒/平面研磨

特長

■シリコンスラッジを含水率約30%で安定回収
■ シリコンスラッジへの不純物混入を抑えた少磨耗構造による高純度回収
■シリコンスラッジを全自動稼動により無人回収

設置実例

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